13311330320 13910557605 13902013022
該系統(tǒng)利用花崗石平板相互垂直的兩個平面，作為高精度氣浮區(qū)。真空吸附滑塊在相互垂直的高精度氣浮區(qū)做無摩擦的高精度直線運(yùn)動。
本機(jī)直線度優(yōu)于0.5微米/800毫米。當(dāng)環(huán)境條件(溫度、濕度、震動、氣源)理想狀態(tài)下，直線度會更高。
測量結(jié)果，測量范圍可根據(jù)用戶需求制作，具有可轉(zhuǎn)方向、可微調(diào)的測量表夾持桿，可加持杠桿千分表、數(shù)顯表、電感測頭等。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 序號 | 型號 | 有效行程 | 平臺規(guī)格（mm） | 備注 |
| 1 | ZXC1 | 1米 | 1600*1000*200 | 含千斤頂、滑塊、立柱、精密過濾器、TESA電感測微儀及軸向測頭TT10 GT21-1. |
| 2 | ZXC2 | 2米 | 2500*1600*300 | |
| 3 | ZXC3 | 3米 | 3500*1600*300 | |
| 4 | ZXC4 | 4米 | 4500*1600*400 |
| 序號 | 型號 | 有效行程 | 平臺規(guī)格（mm） | 備注 |
| 1 | ZXC1J | 1米 | 1600*500*200 | 含千斤頂、滑塊、立柱、精密過濾器、TESA電感測微儀及軸向測頭TT10 GT21-1. |
| 2 | ZXC2J | 2米 | 2500*600*300 | |
| 3 | ZXC3J | 3米 | 3500*800*300 | |
| 4 | ZXC4J | 4米 | 4500*800*400 |
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